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ハウジング12は、筒状(図示例では円筒状)の本体12aと、この本体12aの軸線方向基端側に取り付けられた基端部12bと、本体12aの軸線方向先端側に取り付けられた先端部12cとを有する。ハウジング12の内部にはシリンダ構造12sが設けられ、このシリンダ構造12sの内部に連通する流体供給口12pが上記基端部12bに形成される。図示例では、シリンダ構造12sは、コレット11の基端部11aの外周側から軸線方向基端側に向かう範囲に形成されている。本体12aの内面上には、軸線方向先端側から軸線方向基端側に向かうときに内形寸法(図示例では内径)が増大する段差構造である内側段部12e(第1の段部)が形成される。この内側段部12eは、上記シリンダ構造12sの軸線10xに沿った内面部分(基端側内面部分)と、後述する作動体13の駆動部13cを背後から支持する支持部12k(先端側内面部分)との間に形成される。上記内側段部12eよりもさらに軸線方向先端側において、ハウジング12には、内側へ突出する規制ピン17が取り付けられている。

この場合において、前記流体供給手段は圧力調整器を備え、上記制御部は、前記圧力調整器を制御することにより前記流体圧を調整可能に構成されることが好ましい。このとき、前記作動体位置検出手段、前記把持態様検出手段、或いは、前記把持対象物検出手段の少なくとも一つの検出結果に応じて前記流体圧を調整することが望ましい。また、上記制御部は、前記コレット位置検出手段と前記把持態様検出手段の少なくとも一方の検出結果に基づいて、前記ユニット駆動系を制御し、前記ハンドリングユニットの位置又は姿勢を修正することが好ましい。さらに、上記制御部は、前記作動体位置検出手段、前記把持態様検出手段、又は、前記把持対象物検出手段の検出結果に基づいて、前記フィンガー部により把持した前記把持対象物に対する処理内容を複数の選択肢の中から選択することが好ましい。このとき、前記制御部は、選択された前記処理内容に応じて前記流体供給手段と前記ユニット駆動系の少なくとも一方を制御することが望ましい。

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コレット、前記コレットを駆動する作動体、及び、前記コレットと前記作動体を収容し、流体供給口を備えるシリンダ構造を含むハウジング、を有するハンドリングユニットと、 前記ハンドリングユニットの位置及び姿勢を定めるユニット駆動系と、

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前記筒体と前記軸体とを相対回転不能に前記筒体と前記軸体とにわたり設けられ、前記筒体の回転を前記軸体に伝達する係合部と、

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