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前記筒体と前記軸体とにわたり設けられ、前記軸体を前記コイルばねの付勢により移動される先端方向停止位置と加工時に加工反力により移動される後端方向停止位置との間を移動可能に位置規制する位置規制部と、

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図7には、第6実施形態のハンドリングユニット60の正面図(a)及び縦断面図(b)を示す。この第6実施形態では、第1実施形態と同様のコレット61、ハウジング62及び作動体63を備え、第1実施形態と同様のコネクタ68を介して流体供給口62pから流体がシリンダ構造内に供給可能になっている。このため、第1~第5実施形態と同様に構成される部分の説明は省略する。ただし、本実施形態は、コレット61が把持対象物Pの内周部を内側から把持する把持面61gを備える複数のフィンガー部61cを備えている点で第1実施形態と異なる。また、この構成に対応して、作動体63は、コレット61の軸孔61xの内部を通過して、コレット61の内面の一部で構成される被動部61tに内側から当接して駆動力を与える駆動部63cを先端外面に備える。さらに、コレット61は、ハウジング62の内面の一部の支持面部62mに(インロー状態で)嵌合する基準部61aを備えるとともに、その軸線方向基端側に、ハウジング62の内面の一部に形成された雌ねじ部に螺合する雄ねじ部を備えた被固定部61eを備える。この実施形態では、コレット61は、被固定部61eのハウジング62に対する螺合によって軸線方向の位置が固定され、基準部61aのハウジング62の支持面部62mに対する嵌合によって軸線に沿った同軸状の位置及び姿勢が保持されている。これにより、上記各実施形態と同様に、作動時においてコレット61の位置及び姿勢が維持されながら作動体63の駆動部63cにより把持動作が行われるため、把持精度や繰り返し精度を向上できる。

尚、本発明の方法及び装置は、上述の図示例のみに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。例えば、上記各実施形態では、それぞれ他の実施形態と異なる構成を有するが、各実施形態の構成は、相互に支障を生じない限り、相互に置換したり、相互に組み合わせたりして、種々に採用し、任意の組み合わせで構成することが可能である。また、上記実施形態において、各ハンドリングユニットは、ハンドリング装置のユニット駆動系によって任意の位置及び姿勢に制御できることを前提として構成されているが、例えば、ハンドリングユニット内に、コレット、ハウジング及び作動体の軸線周りの回動機構を組み込むなど、付加的な機能を与えることも可能である。

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図5には、第4実施形態のハンドリングユニット40の縦断面図(a)及び背面図(b)を示す。この第4実施形態では、第1実施形態と同様のコレット41、ハウジング42及び作動体43を備え、第1実施形態と同様のコネクタ48を介して流体供給口42pから流体がシリンダ構造内に供給可能になっている。このため、第1~第3実施形態と同様に構成される部分の説明は省略する。ただし、本実施形態は、作動体43の受圧部43dの軸線方向の位置を検出する近接センサなどからなる位置検出器49を備えている点で第1実施形態と異なる。この位置検出器49は、図示例では、ハウジング42の基端部から支持部42dを貫通してシリンダ構造42sの内部に配置された検出部49sを備える。なお、この位置検出器49は、コレット41のフィンガー部41cが把持状態と非把持状態のいずれにあるかを判別できる程度に、作動体43の軸線方向の位置を検出できるものであればよい。ただし、位置検出器49を、作動体43のシリンダ構造42s内の位置を詳細に検出できるセンサ機能を備えたものとすることにより、さらに詳細な状況を検知でき、後述する制御部の制御下において、さらに詳細な制御を行うことが可能になる。例えば、作動体43の非把持状態から把持状態に移行したときの軸線方向のストロークを検出することにより、複数のフィンガー部41cによって把持された把持対象物の把持寸法(把持径など)を推定することができる。

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この実施形態では、作動体63はコレット61の内部から軸線方向基端側に突出した基端部に受圧部63dが形成されるが、この受圧部63dは、先の各実施形態のような、軸線60xの通過部分に軸孔構造を備えておらず、軸線60xが通過する中心部分にも形成されている。このようにすると、外形寸法を増大させずに、受圧部63dの受圧面積を増大させることができるので、コンパクト化を図りつつ作動体63の駆動力を大きくすることができる。なお、コレット61の基準部61aを、その内側にある作動体63の外面に摺接させることにより、軸線に対して同軸状の位置及び姿勢が保持されるように構成してもよい。このとき、図示例と同様に、コレット61をハウジング62に対しては軸線方向に固定してもよく、或いは、第1実施形態と同様に、コレット61をハウジング62に対して係止位置で位置決め可能としつつ、軸線方向基端側には移動可能に構成してもよい。

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前記筒体の内部に隙間を有して収容され、先端部が前記筒体の先端より突出している内側の軸体と、

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コレット11は、軸線方向の一部を構成する基準部11aを有する。基準部11aは、図示例では、後述する作動体13の内面に対して軸線10xに沿って摺動可能に支持されることにより、軸線10xに対する同軸状の位置及び姿勢が保持された状態となっている。図示例では、基準部11aは、軸線10xに沿って同径に形成された円筒面状の外周面を備える一体の筒形状に構成される。この基準部11aの軸線10xの方向の先端側(図示左側、以下、単に「軸線方向先端側」という。)には、複数の弾性変形部11bが接続される。弾性変形部11bは、上記基準部11aよりも弾性変形が容易な形状寸法となるように構成される。図示例では、弾性変形部11bは、基準部11aより薄肉であり、かつ、軸線10xの周りの周方向にスリット11sにより分断された構造とされることで、個々に容易に弾性変形するようになっている。図示例では、軸線10xの周りに3つの弾性変形部11bが、軸線10xの周りに3回対称性を備える態様で、等角度間隔に形成される。コレット11の軸線10xに沿った内部は軸線方向に貫通した軸孔11xとなっている。

図4には、第3実施形態のハンドリングユニット30の縦断面図を示す。この第3実施形態では、第1実施形態と同様のコレット31、ハウジング32及び作動体33を備え、第1実施形態と同様のコネクタ38を介して流体供給口32pから流体がシリンダ構造内に供給可能になっている。このため、第1若しくは第2実施形態と同様に構成される部分の説明は省略する。ただし、本実施形態は、コレット31の複数のフィンガー部31cがハウジング32の先端部から軸線方向先端側へ突出している点で第1実施形態と異なる。ここで、フィンガー部31cの把持面31gはハウジング32の先端部より突出した位置にあるため、把持動作時において、ハウジング32の先端部が把持対象物の周囲の構造と干渉しにくくなることから、より広範な状況下においても把持動作を可能とすることができる。

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