一方、上記の位置Ｆ３では、複数のフィンガー部１１ｃの軸芯が把持対象物Ｐの中心からさらに大きくずれている。このため、制御部１０１による制御下のユニット駆動系の動作によってハンドリングユニット１０が把持動作を行う位置に向かう途中で、図示のように、少なくとも一つのフィンガー部１１ｃの先端が把持対象物Ｐに抵触することがある。このようになると、非把持状態のコレット１１は、保持ばね１５の弾性力に抗して軸線方向基端側へ移動し、その結果、未作動状態の作動体１３の駆動部１３ｃから被動部１１ｔが駆動力を受けてしまい、把持対象物Ｐを掴む前に、把持状態へ移行してしまう可能性がある。このような場合には、把持動作を行う位置に到達する前に、把持対象物Ｐに接触したフィンガー部１１ｃに対応する把持態様検出器Ｓ３～Ｓ５のいずれかの検出信号Ｓｄが変化したり、或いは、上記コレット１１の軸線方向の位置を検出するコレット位置検出器Ｓ２の検出信号Ｓｃが変化することにより、制御部１０１が位置ずれ量とずれ方向とを推定し、ユニット駆動系の位置制御量を修正する。この場合、把持態様検出器Ｓ３～Ｓ５の検出信号Ｓｄが変化したフィンガー部１１ｃがどれか、複数のフィンガー部１１ｃの幾つにおいて検出信号Ｓｄが変化したかを判定することにより、位置ずれの水平方向の方位と量を推定することができる。また、上記位置検出器Ｓ２の検出信号Ｓｄによってコレット１１の退避量を検出することにより、位置ずれの垂直方向の量を推定することもできる。したがって、ユニット駆動系の位置ずれの方位や量を三次元的に検出することができるため、種々の原因による位置ずれを解消することができる。
上記作動体１３の基端部には、上記ハウジング１２によって構成されるシリンダ構造１２ｓの内部に配置され、上記流体供給口１２ｐから供給される流体により生ずる流体圧を受ける受圧部１３ｄが設けられる。図示例では、受圧部１３ｄは、筒形状の作動体１３の軸線方向基端側の端面により構成される。上記受圧部１３ｄから軸線方向先端側に向かう作動体１３の外面部分には、上記シリンダ構造１２ｓの内面（軸線１０ｘに沿った内面部分）と軸線方向に移動可能に摺接するシリンダ摺接部１３ｓが設けられる。シリンダ摺接部１３ｓと上記シリンダ構造１２ｓの内面との間にパッキンなどの変形可能なシール部材１３ｉが介在することにより、作動体１３のシリンダ摺接部１３ｓはシリンダ構造１２ｓに対して気密に構成される。
上記の非把持状態から把持状態への移行過程において、作動体１３が軸線方向先端側へ移動するとき、作動体１３の支持面部１３ｂはコレット１１の基準部１１ａに対して摺動する。このとき、支持面部１３ｂの表面は軸線１０ｘに沿った面となっているため、これと同様の表面を有する基準部１１ａを備えるコレット１１の軸線１０ｘに対する同軸状の位置及び姿勢は保持される。また、コレット１１が外力を受けない限りは、保持ばね１５によりコレット１１の係止段部１１ｄはハウジング１２のコレット係止部１２ｒに当接した状態に維持されているので、ハウジング１２に対するコレット１１の軸線方向の位置は固定されている。これらの構成により、上記移行過程では、コレット１１の複数のフィンガー部１１ｃは、軸線１０ｘに対する同軸状の位置及び姿勢、並びに、軸線方向の位置が保持された状態で、把持対象物に対して高精度（高い把持精度及びその繰り返し精度）で作動する。
前記筒体と前記軸体とを非回転時に同軸状態に保持するように前記筒体と前記軸体との間に介装された環状弾性体と、
ハンドリングユニット１０には、制御部１０１に検出信号を出力する種々のセンサを設置することができる。例えば、前述の第４実施形態の位置検出器４９と同様に、作動体１３の軸線方向の位置を検出し、検出信号Ｓｓを出力する作動体位置検出器Ｓ１と、コレット１１の軸線方向の位置を検出し、検出信号Ｓｃを出力するコレット位置検出器Ｓ２と、コレット１１の複数の弾性変形部１１ｂ又はフィンガー部１１ｃの各々において、弾性変形量やこれに伴う歪に基づく電圧、電流などをそれぞれ検出し、検出信号Ｓｄを出力する把持態様検出器Ｓ３～Ｓ５と、複数のフィンガー部１１ｃの少なくとも一つに設置され、検出信号Ｓｔを出力する熱電対などの把持対象物Ｐの温度を検出する温度検出器や、導電率を検出する抵抗センサ、把持対象物Ｐの振動を検出する振動センサなどの、把持対象物の各種の物理量を検出する把持対象物検出器Ｓ６とを設けることができる。ここで、上記把持態様検出器Ｓ３～Ｓ５は、各弾性変形部１１ｂやフィンガー部１１ｃに対応するそれぞれの検出信号Ｓｄを出力するものであってもよく、また、検出信号Ｓｄとして、複数の弾性変形部１１ｂやフィンガー部１１ｃの間のセンサ値の差や比を出力するものであってもよい。
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各弾性変形部１１ｂの軸線方向先端側には、フィンガー部１１ｃが接続される。フィンガー部１１ｃは軸線１０ｘに向いた把持面１１ｇを備える。なお、図示例では、把持面１１ｇは、軸線１０ｘを中心とする円弧筒状の内周面（中心角が１２０度弱）で構成されるが、これに限定されず、図示しない把持対象物に対応するものであれば、楕円状、平坦状などの任意の内面形状であってもよい。フィンガー部１１ｃの外面上には、軸線方向先端側に向いた係止段部１１ｄが設けられるとともに、この係止段部１１ｄの軸線１０ｘの方向の基端側（図示右側、以下、単に「軸線方向基端側」という。）には、軸線方向基端側に斜めに向いて傾斜した円錐面状の被動面１１ｔが、各弾性変形部１１ｂ及びフィンガー部１１ｃ毎にそれぞれ設けられる。さらに、この被動面１１ｔの一部（一つ）には、軸線１０ｘに沿って延びる、外周側に開放された規制溝１１ｐが設けられる。
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項目 １ 物事を、ある基準で区分けしたときの一つ一つ。「資料を項目別に整理する」２ 辞典・事典などの見出し...
作動体１３の外面上には、軸線方向先端側から軸線方向基端側に向かうときに外形寸法（図示例では外径）が増大する段差構造である外側段部１３ｅ（第２の段部）が形成される。この外側段部１３ｅは、上記シリンダ摺接部１３ｓ（基端側外面部分）と、上記支持部１２ｋに対して軸線方向１０ｘに移動可能に摺接する被支持部１３ｋ（先端側外面部分）の間に形成される。ここで、内側段部１２ｅは外側段部１３ｅに対して軸線方向先端側に形成される。また、上記内側段部１２ｅと上記外側段部１３ｅとの間には、図示例ではコイルばねである作動ばね１４（作動体付勢手段）が配置（格納）される。この作動ばね１４は、上記流体供給口１２ｐから供給される流体の流体圧が低減若しくは消失したときに、弾性復元力により、作動体１３を軸線方向基端側に戻す。これによって、駆動部１３ｃから被動部１１ｔに与えられていた駆動力が低減若しくは消失されるので、コレット１１の弾性変形部１１ｂの弾性変形が低減若しくは消失されることにより、複数のフィンガー部１１ｃが把持対象物の把持状態から把持前の非把持状態に対応する半径方向の位置に復帰する。ここで、通気経路１３ｔは、内側段部１２ｅと外側段部１３ｅの間の空間を外部に連通させる。ただし、通気経路１３ｔを形成せずに、当該空間内に圧縮性流体（空気やガスなど）を充填し、これの圧力によって弾性復元力を発揮する上記の作動体付勢手段を構成してもよい。
通気口２２ｑへエアなどの流体を供給し、軸孔２１ｘ内から外部へ流体を噴出させることにより、コレット２１の内部に紛れ込んだ粉塵やフィンガー部２１ｃの把持面２１ｇ上に付着した塵埃などを吹き飛ばし、各所を清浄化することができる。また、通気口２２ｑと軸孔２１ｘを介して吸引を行うことによって、フィンガー部２１ｃの内側へ把持対象物を吸引して、既定の把持位置まで把持対象物を引き込んだり、吸引力そのものによって把持対象物を保持したりすることができる。ここで、上記吸引力を増大させるために、上記スリット１１ｓに相当するスリット２１ｓの内部にシリコーン樹脂などの変形容易なシール材を配置し、把持対象物が複数のフィンガー部２１ｃの各把持面２１ｇによって把持されたとき、コレット２１の内部が外部とほとんど連通しなくなるように構成してもよい。
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前記筒体の先端より先端部が突出するように前記筒体の内部に環状隙間を有して収容され、前記筒体に対して一体回転するとともに、軸方向に往復移動しながら、前記筒体の主軸の回転中心線を通る平面上を往復揺動可能な内側の軸体と、
Priority date (The priority day can be an assumption and isn't a legal summary. Google has not carried out a lawful Investigation and makes no illustration as for the accuracy from the date mentioned.)
図３には、第２実施形態のハンドリングユニット２０の縦断面図（ａ）及び背面図（ｂ）を示す。この第２実施形態では、第１実施形態と同様のコレット２１、ハウジング２２及び作動体２３を備え、第１実施形態と同様のコネクタ２８を介して流体供給口２２ｐから流体がシリンダ構造内に供給可能になっている。このため、第１実施形態と同様に構成される部分の説明は省略する。ただし、本実施形態は、ハウジング２２の支持部２２ｄに設けられた通気口２２ｑにコネクタ２９を接続し、コネクタ２９を介して通気口２２ｑから軸孔２１ｘ内へ流体を供給したり、軸孔２１ｘ内から通気口２２ｑを介して流体を排出したりすることができるようになっている点で第１実施形態と異なる。ここで、通気口２２ｑは、後述する排気装置や流体供給源に接続される場合において上記流体吸排口を構成する。